lundi 29 mars 2010

Un peu de Physique

De l'atome à l'ion : perte ou gain d'électrons.


Prenons un atome d'Azote, gaz prépondérant en implantation ionique : 7 électrons répartis sur 3 couches (2,2,3). Hardion+ retirera facilement les 5 extérieurs (ionisation), et laissera les 2 intérieurs, trop coûteux à arracher. On obtiendra ainsi une distribution d'ions : N1+, N2+, N3+, N4+, N5+, de différentes énergies. En faisceau d'ions accélérés, l'ion N5+, le plus énergétique, pénétrera la cible le plus profondément, l'ion N1+, le moins énergétique, restera en surface. Pour un très grand nombre d'ions implantés, la distribution contribuera à une grande homogénéité en densité de la couche implantée. La recette est donc simple.  

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