Faisceau d'ions ou encore faisceau de matière : extrait d'un plasma créé dans le micro-accélérateur
Micro-implanteur : machine mettant en oeuvre un micro-accélérateur générant un faisceau d'ions dans une enceinte où on a créé le vide
Interaction ion-matière : phénomène créé à la rencontre du faisceau et de la matière cible, peut être un ré-alliage, une amorphisation, une texturation ou encore une réticulation
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