Faisceau d'Ions = Faisceau de Matière

On constitue le faisceau d'ions à partir d'un plasma, 4ème état de la matière, par accélération des ions. Bien que lumineux, le faisceau est constitué d'atomes ionisés, c'est à dire, d'éléments chimiques ayant perdus un ou plusieurs électrons. C'est donc bien de la matière projetée avec force (accélérée) laquelle, à la rencontre d'un matériau cible, provoque toutes sortes de réactions : pénétration, pulvérisation, martèlement, échauffement localisé...